Крайъгълният камък на прецизността: Ръководство за превантивна поддръжка на оборудване за прилепване и полиране на пластини
В силно взискателния свят на производството на полупроводници, процесите на прилепване и полиране са критични за постигане на безупречно съвършенство на повърхността, което се изисква за съвременните интегрални схеми. Оборудването за прилепване и полиране на вафли работи с изключителна прецизност, работейки с абразивни суспензии, високо налягане и деликатни материали. Всяко отклонение, отклонение в производителността, може да доведе до катастрофална загуба на добив чрез драскотини, вдлъбнатини или не-равномерна дебелина.
Най-мощният инструмент за осигуряване на постоянно качество, максимизиране на времето за работа и защита на капиталовите инвестиции не е сложна надстройка, а стриктно изпълненаПрограма за превантивна поддръжка (PM).. Тази статия очертава основните компоненти на контролния списък за PM за това чувствително оборудване.
Философията на превенцията
Реактивната поддръжка-отстраняването на проблеми след възникването им-е най-скъпият подход за такива машини. PM е проактивна стратегия, предназначена да:
Предотвратяване на неочакван престой:Идентифицирайте и разрешавайте проблемите, преди да причинят повреда на машината.
Осигурете последователност на процеса:Поддържайте прецизните механични и химични условия, необходими за повтарящи се резултати.
Удължете живота на оборудването:Намалете износването на критичните компоненти.
Подобряване на безопасността:Намалете рисковете, свързани с боравене с химикали, системи с високо{0}}налягане и движещи се части.
Изчерпателен контролен списък за PM трябва да се изпълнява на планирани интервали (ежедневно, седмично, месечно) и включва следните ключови области.
Контролен списък за превантивна поддръжка за оборудване за прилепване и полиране на пластини
I. Ежедневни проверки (ниво-оператор)
Това са бързи визуални и оперативни проверки, които трябва да се извършват в началото или в края на всяка смяна.
1. Визуална проверка:
Проверете за видими течове на течност (вода, суспензия, химикали) около помпите, тръбите и връзките.
Проверете плочата за полиране и носача за признаци на прекомерно износване, напукване или натрупване на остатъци.
Уверете се, че зоната около оборудването е чиста и без отломки.
2. Система за суспензия:
Уверете се, че резервоарите за тор и химикали са с достатъчни нива.
Разклатете резервоарите за тор, за да предотвратите утаяването, ако е приложимо.
Проверете линиите за подаване на суспензия slurryect за прегъвания, запушвания или въздушни мехурчета.
3. Основна функционалност:
Извършете пробно пускане без пластина, за да потвърдите, че всички оси се движат гладко и тихо.
Слушайте за необичайни шумове от двигатели, помпи или лагери.
Проверете Проверете дали аварийните спирания и защитните блокировки работят.
II. Седмични / дву-седмични проверки
Тези задачи включват по-подробно почистване и проверка, за да се предотврати постепенно влошаване на производителността.
1. Дълбоко почистване:
Демонтирайте и почистете:Чисто:Отстранете полиращите подложки (ако не са сменени), носачите и задържащите пръстени.
Почистваща плоча:Почистете добре повърхността на полиращата плоча, за да отстраните вградените частици и упоритите остатъци.
Чисти дюзи за суспензия:Отпушете и промийте дюзите за дозиране на суспензия, за да осигурите равномерен, постоянен поток.
2. Проверка на механичната система:
Проверете задвижващите ремъци:Проверете коланите за напрежение, износване и остъкляване. Регулирайте или сменете според нуждите.
Смазване:Проверете нивата на смазване в определени лагери и водещи релси. Допълнете с одобрени смазочни материали.
Проверка на носещо фолио:Проверете състоянието на носещия филм или поддържащия материал и ги сменете, ако са износени.
3. Водни и химически системи:
Проверете и почистете водните филтри (DI/RO), за да поддържате чистота и налягане.
Проверете химическите линии и клапаните за корозия или течове.
III. Месечни/тримесечни проверки
Това са по-задълбочени инспекции, които често изискват обучен техник, който да оцени дългосрочното-здравословно състояние на системата.
1. Разширена Разширена механична проверка:
Здраве на лагера и шпиндела:Проверете за луфт или грапавост в шпиндела на главния вал и лагерите на носещата глава. Наблюдавайте потреблението на ток на двигателя за аномалии.
Измерване на плоскост:Използвайте гранитен плосък и щуп или интерферометър, за да проверите плоскостта на полиращата плоча. Re-lap ако е извън спецификацията.
Калибриране на налягането и{0}}натиска:Проверете точността на приложеното налягане с помощта на калибриран манометър.
2. Контролни и електрически системи:
Проверка на сензора:Уверете се, че сензорите за позиция, превключвателите за близост и температурните сензори функционират правилно.
Електрически шкаф:Проверете за натрупване на прах и почистете филтрите на вентилаторите за охлаждане на шкафа.
Проверете клемните връзки за плътност.
3. Цялост на флуидната система:
Извършете цялостна проверка на всички помпи (суспензия, химикали, дренаж) за производителност и целостта на уплътнението.
Проверете цялата дренажна система за отпадъци за запушвания или ограничения.
Документация: Последната, критична стъпка
Контролният списък е ефективен само ако е документиран. За всяка изпълнена задача трябва да се запише следното:
Дата и часна поддръжката.
Име на техникакойто е извършил работата.
Първоначално състояниена компонента.
Предприети действия(напр. "почистен", "коригиран", "заменен").
Използвани части(с номера на части за проследяване на инвентара).
Окончателна проверкапотвърждаване на преминаването на оборудването след{0}}тестове за поддръжка.
Този дневник създава ценна история за отстраняване на повтарящи се проблеми и планиране на бъдещи капиталови разходи.
Заключение
При производството на полупроводници, където несъвършенствата в нанометров-мащаб могат да направят пластината безполезна, границата за грешка е почти нула. Един дисциплиниран, добре{2}}документиран режим на превантивна поддръжка за оборудване за прилепване и полиране не е просто препоръка-това е основно изискване, основно изискване за оперативни съвършенства. Като се грижат систематично за машината, която се грижи за вафлата, производителите гарантират, че производителите запазват качеството на продуктите си, оптимизират производствената си линия и осигуряват възвръщаемостта на инвестициите си в една безмилостно конкурентна индустрия.
